关键词： 光刻机 芯片制造 政策
中商情报网讯：光刻机是制造芯片的核心装备，其本质是一台高精度的“投影曝光系统”，利用光将掩模版上的电路图案复制到硅片上。我国持续出台顶层规划、专项攻关、财税激励等一系列政策，系统支持集成电路产业高质量发展。光刻机作为芯片制造的核心关键装备，是产业链补短板、自主可控的重点攻坚环节，直接受益于集成电路全链条扶持政策红利。
资料来源：中商产业研究院整理
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